東北大学サイエンスカフェ 第143回「スマホのシェイクを感じる小さなセンサ、次は社会を大きく変える 〜MEMSとIoTのお話し〜」を2017年8月25日に開催しました。 動画
MNCセミナー・リカレント教育講座「近代技術史学」を2020年9月1〜3日に開催する予定です。詳細 自動車エンジンの技術史資料
COVID-19拡大のため、MEMS Engineer Forum 2020(MEF 2020)は中止になりました。MEF 2021は2021年4月21-22日に開催します。詳細
COVID-19拡大のため、日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会主催によるSAW・BAWデバイスに関するセミナー「弾性波素子技術 春の学校」(2020年3月31日)は中止になりました。
今年の「MEMS集中講義」は2019年7月29〜31日にかわさき新産業創造センターで開催しました。詳細
Northeastern UniversityのSrinivas Tadigadapa教授による共振型センサー特別セミナーを2018年10月15日に開催しました。詳細
KTH Royal Institute of TechnologyのFrank Niklaus教授によるヘテロ集積化・パッケージング技術特別セミナーを2018年4月27日に開催しました。詳細 講演資料
UC DavisのDavid A. Horsley教授による圧電超音波MEMS特別セミナーを2017年4月28日に開催しました。詳細 講演資料
左側バナーの"Internet Archives"に田中秀治教授によるMEMS解説記事がまとめられています。
オンラインで記事を読めない方は田中秀治教授に連絡ください。
  最新記事1「複雑な3次元構造や低コスト化が可能に、MEMS技術が新手法や日本製装置でさらに進化日経xTECH
  最新記事2「ロボホンにも載ったマイクロミラーのMicroVisionが窮地に、新型コロナ追い打ち日経xTECH
  最新記事3「「成熟したはず」の弾性表面波フィルターが、新技術開発ブームに沸くワケ日経xTECH
田中(秀)研究室のイベントや学生の学会等参加の様子は左側バナーの"Blog Student Page"で見られます。
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