COVID-19猖獗のため、MEMS Engineer Forum 2020(MEF 2020)は中止になりました。MEF 2021は2021年4月21-22日に開催する予定です。詳細
東北大学サイエンスカフェ 第143回「スマホのシェイクを感じる小さなセンサ、次は社会を大きく変える 〜MEMSとIoTのお話し〜」を2017年8月25日に開催しました。動画
MNCセミナー・リカレント教育講座「近代技術史学」を2020年9月1〜3日に開催します。詳細 自動車エンジンの技術史資料
SAW・BAWデバイスに関するセミナー「弾性波素子技術 夏の学校」は2020年9月18日にオンラインで開催します。詳細
今年の「MEMS集中講義」は2020年8月19〜21日にオンラインで開催しました。詳細
Northeastern UniversityのSrinivas Tadigadapa教授による共振型センサー特別セミナーを2018年10月15日に開催しました。詳細
KTH Royal Institute of TechnologyのFrank Niklaus教授によるヘテロ集積化・パッケージング技術特別セミナーを2018年4月27日に開催しました。詳細 講演資料
UC DavisのDavid A. Horsley教授による圧電超音波MEMS特別セミナーを2017年4月28日に開催しました。詳細 講演資料
左側バナーの"Internet Archives"に田中秀治教授によるMEMS解説記事がまとめられています。
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  最新記事1「2019年MEMS売上高ランキングTOP30日経xTECH
  最新記事2「MEMSの封止は、構造物の保護とコスト低減の両立がカギ日経xTECH
  最新記事3「実装面積を小さくする、慣性センサー封止のあれこれ日経xTECH
  最新記事4「スマホで激増のBAWフィルター、両面実装や2階建化が必須に日経xTECH
田中(秀)研究室のイベントや学生の学会等参加の様子は左側バナーの"Blog Student Page"で見られます。
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