※オンラインで記事を読めない方は田中秀治教授に連絡ください。

半導体教育に力を入れる中国、大学設備に多くの中国製装置 日経xTECH 2024/2/15

MEMSジャイロを用いて慣性航行できる日は来るか（2） センサイト 2023/11/15

MEMSジャイロを用いて慣性航行できる日は来るか（1） センサイト 2023/11/1

MEMSトップ30企業動向を独自分析、日本企業は4社ランクイン 日経xTECH 2023/9/15

MEMS世界市場、総個数は微減も市場規模は2.5％成長 日経xTECH 2023/9/13（編集長セレクト：日経エレクトロニクス 2023年12月号）

車載LiDARは赤字覚悟のチキンレース、淘汰はまだまだ進む 日経xTECH 2023/5/11

あのVelodyneの名も消える、車載LiDARに淘汰の大波 日経xTECH 2023/5/10

例外的に成長した2021年のMEMS市場、22年は通常に戻るか 日経xTECH 2022/9/20

300mmウエハーでのMEMS生産が当たり前に？ボッシュが計画明言 日経xTECH 2022/7/20

慣性センサー製造でボッシュに迫るST、2層エピポリSi手中に 日経xTECH 2022/5/25

ジャイロセンサの基礎知識 イプロスTech Note 2022

マイクに続き来るか圧電MEMSスピーカー TWSで採用の動き 日経xTECH 2022/2/16（人気記事：2022年2月期業界動向分野アクセスランキング5位）

300mmでのMEMS製造時代到来か、中国で新工場建設プロジェクト 日経xTECH 2022/1/7

SilexがElmosのアナログCMOS製造事業を買収 日経xTECH 2021/12/16

中国親会社へのMEMS技術輸出、スウェーデン当局がSilexに不許可 日経xTECH 2021/10/13

スマホが伸びクルマが沈む 新型コロナで明暗の20年MEMSメーカー 日経xTECH 2021/7/28（人気記事：2021年7月期業界動向分野アクセスランキング2位）

捲土重来の骨伝導MEMSマイク、AirPods風イヤホンでブレークか 日経xTECH 2021/7/16

自動車用半導体不足は深刻なのに MEMSが不足しない不思議 日経xTECH 2021/5/20

インテルはもうTSMCに勝てない？半導体・MEMS市場の行方を東北大 田中教授が解説 ビジネス+IT 2021/4/5

自動運転向けLiDAR開発に100社殺到、抜け出すのは一握りの企業 日経xTECH 2021/2/17（人気記事：2021年2月期パワー/モビリティー分野アクセスランキング10位）

中国MEMS産業の今、群雄割拠の戦国時代に突入 日経xTECH 2020/12/18

弾性波フィルタとは何か−FBARやSMRをわかりやすく、詳しく解説 センサイト 2020/11/3

2019年MEMS売上高ランキングTOP30、日本企業は9社に減少 日経xTECH 2020/9/1（人気記事：2020年9月期AI/IoT分野アクセスランキング5位）

スマホで激増のBAWフィルター、両面実装や2階建化が必須に MEMSのウエハーレベルパッケージングの基礎 第3回 日経xTECH 2020/8/24

実装面積を小さくする、慣性センサー封止のあれこれ MEMSのウエハーレベルパッケージングの基礎 第2回 日経xTECH 2020/8/21

MEMSの封止は、構造物の保護とコスト低減の両立がカギ MEMSのウエハーレベルパッケージングの基礎 第1回 日経xTECH 2020/8/20

中国教授の産業スパイ事件で有罪評決、スマホフィルター技術窃盗 日経xTECH 2020/8/19

複雑な3次元構造や低コスト化が可能に、MEMS技術が新手法や日本製装置でさらに進化 「IEEE MEMS 2020」国際会議より 日経xTECH 2020/3/23

ロボホンにも載ったマイクロミラーのMicroVisionが窮地に、新型コロナ追い打ち 日経xTECH 2020/3/16

「成熟したはず」の弾性表面波フィルターが、新技術開発ブームに沸くワケ 日経xTECH 2020/2/21（人気記事：2020年2月期基盤開発分野アクセスランキング2位）

世界初の量産か、300mmウエハーでのMEMS 日経xTECH 2019/11/19

シリコンバレーで1晩5ドルで泊まる裏ワザ？ 日経xTECH 2019/9/26

MEMSマイクに新原理、PZTでスピーカーやレンズも 「Transducers 2019」の発表を読み解く 日経xTECH 2019/9/19

MEMSマイクに新原理、意外な応用展開も [続報]「Transducers 2019」から 日経xTECH 2019/7/26

スマホにも自動車にも不可欠なMEMSが日本製造業を救う 日経xTECH 2019/7/25

MEMS応用が新PZTで拡大、レンズやスピーカー、超音波センサーへ 「Transducers 2019」から 日経xTECH 2019/7/19

2018年MEMS売上高ランキング、トップ30には日本の11社 日経xTECH 2019/6/14

中国スマホのアキレス腱、BAWフィルターの先端技術 日経xTECH 2019/5/15

中国でMEMS量産拡大、建設中の巨大工場を探訪 日経xTECH 2019/4/9

フロリダ大学、10nm厚のHZO膜で圧電性を確認 日経xTECH 2019/4/8

トランスファー法でガラス上にPZT薄膜を形成した圧電ハプティック、指紋センサーへの応用も 日経xTECH 2019/4/5

0.12平方mmのMEMS加速度センサー、チップ面積1/10で同等性能に 日経xTECH 2019/4/4

アイコは学生の心をつかめるか、半導体技術者の短編フィルムが公開 日経xTECH 2018/12/19

中国MEMSの急先鋒Hanking、CTOが語る工場と雇用 日経xTECH 2018/12/07

急成長IT巨人を支える、中国のラビリンス「城中村」 深センの企業に労働者を送り出すvillageを見た 日経xTECH 2018/11/09

対米貿易紛争で加速する、中国MEMS工場への投資 大口径ライン建設地で感じた、開発製造の自国化への熱意 日経xTECH 2018/11/08

BroadcomをMEMS売上高トップにしたデバイスとは 日経xTECH 2018/07/09（人気記事：2018年8月期基盤開発分野アクセスランキング9位）

相次ぐ「モード局在化」センサー、安定性が抜群に 「IEEE MEMS 2018」報告（2） 日経xTECH 2018/02/15

「コンボセンサー」集積化、ぐっと前進 「IEEE MEMS 2018」報告（1） 日経xTECH 2018/02/14

欧米MEMS企業の牙城崩せ、中国勢が続々切り込む 「International Conference on Commercialization of Transducer & MEMS 2017」報告 日経テクノロジーオンライン 2017/10/31

ガラス下に置く指紋センサー、TDK子会社が超音波ビームで実現 日経テクノロジーオンライン 2017/10/05

スマホのシェイクを感じる小さなセンサ、次は社会を大きく変える 〜MEMSとIoTのお話し〜 第143回東北大学サイエンスカフェ 2017/8/25

「Transducers 2017」に見るMEMS新潮流 日経テクノロジーオンライン 2017/07/11

LIDAR、マイク、慣性センサー、MEMSは自動車志向へ 「MEMS & Sensors Executive Congress 2016」報告 日経テクノロジーオンライン 2016/11/14

MEMSの小型・低コスト化が実用範囲を拡大 ― 自動運転、5G、ロボットで応用研究も進む 日経テクノロジーオンライン 2016/02/11

MEMSはもうかる 「IEEE MEMS 2016」学会報告 日経テクノロジーオンライン 2016/01/28（人気記事：2016年1月期デバイス分野アクセスランキング10位）

チップ上にフーコー振子 ― 高性能MEMSジャイロ 自動運転などに向けて開発が進む 日経テクノロジーオンライン 2015/07/17

自動運転、IoT、人工知能、いずれにも必須のMEMS技術 日経テクノロジーオンライン 2015/06/30

MEMSセンサー、集積化手法に新潮流 日経テクノロジーオンライン 2015/06/29（人気記事：2015年6月期デバイス分野アクセスランキング6位）

IoT社会に向けて上海でもMEMSの研究開発・事業化に活気 日経テクノロジーオンライン 2015/03/18

「Apple社がMEMS技術者を募集」も話題に 「SEMICON Europe」報告 日経テクノロジーオンライン 2014/10/21

【MEMS 2014】圧電MEMSを製品化した米IDT社の凄さとは 日経テクノロジーオンライン 2014/02/03

【MEMS 2014】数百℃でも働くセンサー、SiC以外に“先祖帰り”の方法も 日経テクノロジーオンライン 2014/01/31

【MEMS 2014】無線タグを一気に小型化、センサー応用の可能性も 日経テクノロジーオンライン 2014/01/30

【MEMS 2014】人体内での役目を終えると分解される電子デバイス、「MEMS 2014」で発表 日経テクノロジーオンライン 2014/01/29

【TRANSDUCERS続報】600℃で使うセンサの信号はどう読み出すか 東北大学・田中教授がMEMSセンサなどを解説（1） 日経テクノロジーオンライン 2013/08/01

【TRANSDUCERS続報】TSVを安く、貫通孔にワイヤ通す東北大学・田中教授がMEMSセンサなどを解説（2） 日経テクノロジーオンライン 2013/08/06

【TRANSDUCERS】MEMSディスプレイ、テレビ以外の応用に可能性 日経テクノロジーオンライン 2013/06/20

【TRANSDUCERS】ジャイロのケタ違いの高性能化、設計力で実現する手法の発表相次ぐ 日経テクノロジーオンライン 2013/06/20

【TRANSDUCERS】Auナノ粒子埋め込みTSVやALDなど実装技術が発表 日経テクノロジーオンライン 2013/06/19

【TRANSDUCERS】「Epi Seal」技術による加速度センサの2件の発表、米Stanford大から 日経テクノロジーオンライン 2013/06/19

【TRANSDUCERS】「0.02米ドル／軸になると1兆個のセンサが使われる」 日経テクノロジーオンライン 2013/06/19

【MEMS 2013】低損失なワイングラス振動子の発表相次ぐ、米DARPA関連で 日経テクノロジーオンライン 2013/01/24

【MEMS 2013】民生品よりずっと高精度にできるジャイロ、米大学が発表 日経テクノロジーオンライン 2013/01/24

【MEMS 2013】着実に進化している圧電材料 日経テクノロジーオンライン 2013/01/23

【MEMS 2013】携帯電話機向けセンサの発表に見る中国と日本の技術力 日経テクノロジーオンライン 2013/01/22

【MEMS 2012】Si深掘り時の異常エッチングと対処法、豊田中研が発表 日経テクノロジーオンライン 2012/02/01

【MEMS 2012】ソニー、高速可動のレンチキュラー・レンズを試作 日経テクノロジーオンライン 2012/02/01

【MEMS 2012】Si発振器の課題を新構造で解決、PLL無しの素子も 日経テクノロジーオンライン 2012/01/31

【MEMS 2012】3D像作成の新手法、単レンズの微小シフトで 日経テクノロジーオンライン 2012/01/31

【MEMS2009】IMECがSiGeでマイクロミラー・アレイ 日経テクノロジーオンライン 2009/01/31

韓国NNFCはMEMSの“Albany”やIMECになれるか（1）、「研究センターの狙い」 日経テクノロジーオンライン 2005/06/30

韓国NNFCはMEMSの“Albany”やIMECになれるか（2）、「運営費は自ら稼ぐ」 日経テクノロジーオンライン 2005/07/01

【TRANSDUCERS’05】論文数ランキング、日本の教授が上位を占める 日経テクノロジーオンライン 2005/06/13

【TRANSDUCERS’05】中国からの集積化MEMSの発表に注目 日経テクノロジーオンライン 2005/06/09

【TRANSDUCERS’05】RF MEMSセッション、偉大なるNguyen教授の招待講演で開始 日経テクノロジーオンライン 2005/06/09

【TRANSDUCERS'05】今後主力になりそうな対照的な二つの集積化手法 日経テクノロジーオンライン 2005/06/07


講演スライド「東日本震災から学ぶ 被災状況と実験室での地震への備え」 2013年9月

講演録画「微細加工プロセスの時代が来た」 2020年度微細加工プラットフォームコンソーシアムシンポジウム, 2021年3月1日

研究プロフィール「MEMS−微小電気機械システム」 翠巒, 35 (2021) pp. 11-15に掲載

巻頭言「大学教員の役得」 エバラ時報, 260 (2020) pp. 1-2に掲載

解説記事「国際会議「IEEE MEMS 2019」からMEMSの現在と将来を覗く」 次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 29, 1 (2019) pp. 14-18に掲載

解説記事「IEEE MEMS 2018の論文から見える集積化センサの将来」 次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 28, 1 (2018) pp. 38-41に掲載

解説「MEMS振動型ジャイロスコープの動作原理と最近の動向」 センサフュージョン技術の開発と応用事例, 第4章第3節, 技術情報協会 (2019)に掲載

Invited paper "Stacked Integration of MEMS on LSI" published in Micromachines, 7 (2016) 137

Invited paper "Development and Applications of MEMS Process Tools" presented in The 22nd International Display Workshops (IDW '15)

Review paper "Moving Tunable Filters Forward" published in IEEE Microwave Magazine, 16, 7 (2015) pp. 89-97

Invited paper "State-of-the-art MEMS Gyroscopes for Autonomous Cars" presented in International Conference "Global/Local Innovations for Next Generation Automobiles" 2015, 12th International Conference on Flow Dynamics, Tohoku University

Invited paper "Academic Approach to New Industry-Relevant MEMS" presented in China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 2015, SEMI China

研究室紹介記事「研究室だより」 電気学会論文誌E, 135, 2 (2015)に掲載

推薦論文「高性能圧電MEMSセンサのためのc軸配向PMnN-PZTエピタキシャル薄膜のSi基板上への形成」 圧電材料・デバイスシンポジウム2015で発表

Selected paper "Highly c-axis oriented monocrystalline Pb(Zr, Ti)O₃ based thin film on Si wafer by sputter deposition with fast cooling process" presented in IEEE International Ultrasonics Symposium 2014

解説記事「国際会議報告 MEMS 2014」 次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 24, 1 (2014) pp. 14-19に掲載

Review article "Extremely Versatile, The micro system analyzer in the MEMS laboratory at Tohoku University Japan" published in Polytec InFocus (2014) pp. 10-15

Invited paper "Piezoelectric acoustic wave devices based on heterogeneous integration technology" presented in IEEE International Frequency Control Symposium 2014

コラム「ほくろ型センサがロボットの触覚に」 先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム冊子に掲載

解説論文「MEMS-LSI 融合技術の触覚センサネットワークへの応用」 InterLab, 110 (2014) pp.17-23に掲載

Review paper "Wafer-level hermetic MEMS packaging by anodic bonding and its reliability issues" published in Microelectronics Reliability, 54, 5 (2014) pp. 875-881

解説記事「国際会議報告 MEMS 2013」 次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 23, 1 (2013) pp. 14-19に掲載

Review paper "Fuel cells and their components based on microsystem technology" published in Wiley Interdisciplinary Reviews: Energy and Environment, 2, 3 (2013) pp. 350-362

Review paper "Heterogeneous integration by adhesive bonding" published in SpringerOpen Journal Micro and Nano Systems Letters (2013) 1:3

解説記事「振動アクチュエータの基礎を復習する」 次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 22, 2 (2012) pp. 14-17に掲載

解説記事「国際会議報告 MEMS 2012」 次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 22, 1 (2012) pp. 14-18に掲載

総説「MEMS技術」 大阪工研協会発行 科学と工業, 85, 2 (2010) pp. 49-56に掲載


MEMS（メムス）を簡単に解説。マイクやセンサに活用の技術、LiDARなど将来性は？ ビジネス＋IT 2020/01/06

数字で見る科学と未来― 1人2役の駆動装置で2分の1サイズ レーザーのちらつきを低減 JSTnews, 2019年4月号, pp. 12-13

東北大、サービスロボット用集積化触覚センサー開発 MEMS技術ベースのヘテロ集積化技術で力センサーと制御回路を一体化 日経テクノロジーオンライン 2017/3/13

トヨタと東北大が新技術、ロボットセンサーとICを安く積層 日経テクノロジーオンライン 2016/11/02

露天風呂と相部屋で“交流型学会”、「IEEE-NEMS 2016」が松島で開催 日経テクノロジーオンライン 2016/04/18

MEMSジャイロは自動運転に耐えるのか 日経テクノロジーオンライン 2015/07/28

NEDO次世代ロボット中核技術の研究開発事業「次世代ロボットのためのマルチセンサ実装プラットフォームの開発」 ロボコンマガジン 2015/07/27

茶道評価装置でお点前上達 東北大生らが開発 河北新報 ONLINE NEWS 2015/06/13

'Smart' bamboo whisk invented for Japanese tea ceremony Daily Telegraph 2015/6/5

宮城）お点前は？コンピューターが採点 東北大生開発 朝日新聞デジタル 2015/05/14

テレビの空き周波数をスマホに、東北大や村田がコグニティブ対応デバイス 日経テクノロジーオンライン 2014/02/26

熟成するロボットに触覚を与える技術、身近なモノや道具に応用して新しい価値を創出 日経テクノロジーオンライン 2014/02/21

次世代携帯電話に必要な技術「ヘテロ集積化」とは JST サイエンス チャンネル 2014/02/02

ヒト共生ロボットの全身を覆う触覚センサ、セラミック基板使い低価格に 日経テクノロジーオンライン 2013/11/15

MEMSの江刺教授が退職、学外向け最終講義・祝賀会が開催 日経テクノロジーオンライン 2013/03/19

【MEMS 2013続報】ウエハーから任意チップを剥離し別ウエハーへ移植 日経テクノロジーオンライン 2013/02/05

東北大学とIMECが戦略的連携協定 日経テクノロジーオンライン 2012/06/15

ドラえもんの動力源に最適!? “手のひらガスタービン”が描くエネルギーの未来 MONOist 2012/09/27

ヒューマノイド型ロボットにも応用が可能!? ? 大きなパワーを身近に利用できる超小型ガスタービンの開発 JQR 2012/05

IHI、デスクトップサイズのガスタービン発電機パッケージを開発---「世界初」の自律発電に成功 日経テクノロジーオンライン 2012/02/17

【マイクロマシン展】“接合して切断”、LTCCで浜ホトが提案 日経テクノロジーオンライン 2009/08/03

東北大学、片手で持てるサイズのガスタービンエンジンの実証に世界で初めて成功 日経テクノロジーオンライン 2007/08/08

片手で持てるガスタービンエンジン ロボットの電源に ITmedia 2007/08/08