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お薦めの解説記事等 Recommended articles

Invited paper "Stacked Integration of MEMS on LSI" published in Micromachines, 7 (2016) 137

Invited paper "Development and Applications of MEMS Process Tools" presented in The 22nd International Display Workshops (IDW '15)

Review paper "Moving Tunable Filters Forward" published in IEEE Microwave Magazine, 16, 7 (2015) pp. 89-97

Invited paper "State-of-the-art MEMS Gyroscopes for Autonomous Cars" presented in International Conference "Global/Local Innovations for Next Generation Automobiles" 2015, 12th International Conference on Flow Dynamics, Tohoku University

Invited paper "Academic Approach to New Industry-Relevant MEMS" presented in China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 2015, SEMI China

研究室紹介記事「研究室だより」 電気学会論文誌E, 135, 2 (2015)に掲載

推薦論文「高性能圧電MEMSセンサのためのc軸配向PMnN-PZTエピタキシャル薄膜のSi基板上への形成」 圧電材料・デバイスシンポジウム2015で発表

Selected paper "Highly c-axis oriented monocrystalline Pb(Zr, Ti)O3 based thin film on Si wafer by sputter deposition with fast cooling process" presented in IEEE International Ultrasonics Symposium 2014

解説記事「国際会議報告 MEMS 2014次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 24, 1 (2014) pp. 14-19に掲載

Review article "Extremely Versatile, The micro system analyzer in the MEMS laboratory at Tohoku University Japan" published in Polytec InFocus (2014) pp. 10-15

Invited paper "Piezoelectric acoustic wave devices based on heterogeneous integration technology" presented in IEEE International Frequency Control Symposium 2014

コラム「ほくろ型センサがロボットの触覚に」 先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム冊子に掲載

解説論文「MEMS-LSI 融合技術の触覚センサネットワークへの応用」 InterLab, 110 (2014) pp.17-23に掲載

Review paper "Wafer-level hermetic MEMS packaging by anodic bonding and its reliability issues" published in Microelectronics Reliability, 54, 5 (2014) pp. 875-881

解説記事「国際会議報告 MEMS 2013次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 23, 1 (2013) pp. 14-19に掲載

Review paper "Fuel cells and their components based on microsystem technology" published in Wiley Interdisciplinary Reviews: Energy and Environment, 2, 3 (2013) pp. 350-362

Review paper "Heterogeneous integration by adhesive bonding" published in SpringerOpen Journal Micro and Nano Systems Letters (2013) 1:3

解説記事「振動アクチュエータの基礎を復習する次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 22, 2 (2012) pp. 14-17に掲載

解説記事「国際会議報告 MEMS 2012次世代センサ協議会発行 次世代センサ, 22, 1 (2012) pp. 14-18に掲載

総説「MEMS技術大阪工研協会発行 科学と工業, 85, 2 (2010) pp. 49-56に掲載

田中秀治教授によるMEMS解説 Prof. Tanaka's commentaries on MEMS

LIDAR、マイク、慣性センサー、MEMSは自動車志向へ 「MEMS & Sensors Executive Congress 2016」報告 日経テクノロジーオンライン 2016/11/14

MEMSの小型・低コスト化が実用範囲を拡大 ― 自動運転、5G、ロボットで応用研究も進む 日経テクノロジーオンライン 2016/02/11

MEMSはもうかる 「IEEE MEMS 2016」学会報告 日経テクノロジーオンライン 2016/01/28(人気記事:2016年1月期デバイス分野アクセスランキング10位)

チップ上にフーコー振子 ― 高性能MEMSジャイロ 自動運転などに向けて開発が進む 日経テクノロジーオンライン 2015/07/17

自動運転、IoT、人工知能、いずれにも必須のMEMS技術 日経テクノロジーオンライン 2015/06/30

MEMSセンサー、集積化手法に新潮流 日経テクノロジーオンライン 2015/06/29(人気記事:2015年6月期デバイス分野アクセスランキング6位)

IoT社会に向けて上海でもMEMSの研究開発・事業化に活気 日経テクノロジーオンライン 2015/03/18

「Apple社がMEMS技術者を募集」も話題に 「SEMICON Europe」報告 日経テクノロジーオンライン 2014/10/21

【MEMS 2014】圧電MEMSを製品化した米IDT社の凄さとは 日経テクノロジーオンライン 2014/02/03

【MEMS 2014】数百℃でも働くセンサー、SiC以外に“先祖帰り”の方法も 日経テクノロジーオンライン 2014/01/31

【MEMS 2014】無線タグを一気に小型化、センサー応用の可能性も 日経テクノロジーオンライン 2014/01/30

【MEMS 2014】人体内での役目を終えると分解される電子デバイス、「MEMS 2014」で発表 日経テクノロジーオンライン 2014/01/29

【TRANSDUCERS続報】600℃で使うセンサの信号はどう読み出すか 東北大学・田中教授がMEMSセンサなどを解説(1) 日経テクノロジーオンライン 2013/08/01

【TRANSDUCERS続報】TSVを安く、貫通孔にワイヤ通す東北大学・田中教授がMEMSセンサなどを解説(2) 日経テクノロジーオンライン 2013/08/06

【TRANSDUCERS】MEMSディスプレイ、テレビ以外の応用に可能性 日経テクノロジーオンライン 2013/06/20

【TRANSDUCERS】ジャイロのケタ違いの高性能化、設計力で実現する手法の発表相次ぐ 日経テクノロジーオンライン 2013/06/20

【TRANSDUCERS】Auナノ粒子埋め込みTSVやALDなど実装技術が発表 日経テクノロジーオンライン 2013/06/19

【TRANSDUCERS】「Epi Seal」技術による加速度センサの2件の発表、米Stanford大から 日経テクノロジーオンライン 2013/06/19

【TRANSDUCERS】「0.02米ドル/軸になると1兆個のセンサが使われる」 日経テクノロジーオンライン 2013/06/19

【MEMS 2013】低損失なワイングラス振動子の発表相次ぐ、米DARPA関連で 日経テクノロジーオンライン 2013/01/24

【MEMS 2013】民生品よりずっと高精度にできるジャイロ、米大学が発表 日経テクノロジーオンライン 2013/01/24

【MEMS 2013】着実に進化している圧電材料 日経テクノロジーオンライン 2013/01/23

【MEMS 2013】携帯電話機向けセンサの発表に見る中国と日本の技術力 日経テクノロジーオンライン 2013/01/22

【MEMS 2012】Si深掘り時の異常エッチングと対処法、豊田中研が発表 日経テクノロジーオンライン 2012/02/01

【MEMS 2012】ソニー、高速可動のレンチキュラー・レンズを試作 日経テクノロジーオンライン 2012/02/01

【MEMS 2012】Si発振器の課題を新構造で解決、PLL無しの素子も 日経テクノロジーオンライン 2012/01/31

【MEMS 2012】3D像作成の新手法、単レンズの微小シフトで 日経テクノロジーオンライン 2012/01/31

【MEMS2009】IMECがSiGeでマイクロミラー・アレイ 日経テクノロジーオンライン 2009/01/31

韓国NNFCはMEMSの“Albany”やIMECになれるか(1)、「研究センターの狙い」 日経テクノロジーオンライン 2005/06/30

韓国NNFCはMEMSの“Albany”やIMECになれるか(2)、「運営費は自ら稼ぐ」 日経テクノロジーオンライン 2005/07/01

【TRANSDUCERS’05】論文数ランキング、日本の教授が上位を占める 日経テクノロジーオンライン 2005/06/13

【TRANSDUCERS’05】中国からの集積化MEMSの発表に注目 日経テクノロジーオンライン 2005/06/09

【TRANSDUCERS’05】RF MEMSセッション、偉大なるNguyen教授の招待講演で開始 日経テクノロジーオンライン 2005/06/09

【TRANSDUCERS'05】今後主力になりそうな対照的な二つの集積化手法 日経テクノロジーオンライン 2005/06/07

インターネット報道 Internet news related to S. Tanaka Laboratory

東北大、サービスロボット用集積化触覚センサー開発 MEMS技術ベースのヘテロ集積化技術で力センサーと制御回路を一体化 日経テクノロジーオンライン 2017/3/13

トヨタと東北大が新技術、ロボットセンサーとICを安く積層 日経テクノロジーオンライン 2016/11/02

露天風呂と相部屋で“交流型学会”、「IEEE-NEMS 2016」が松島で開催 日経テクノロジーオンライン 2016/04/18

MEMSジャイロは自動運転に耐えるのか 日経テクノロジーオンライン 2015/07/28

NEDO次世代ロボット中核技術の研究開発事業「次世代ロボットのためのマルチセンサ実装プラットフォームの開発」 ロボコンマガジン 2015/07/27

茶道評価装置でお点前上達 東北大生らが開発 河北新報 ONLINE NEWS 2015/06/13

'Smart' bamboo whisk invented for Japanese tea ceremony Daily Telegraph 2015/6/5

宮城)お点前は?コンピューターが採点 東北大生開発 朝日新聞デジタル 2015/05/14

テレビの空き周波数をスマホに、東北大や村田がコグニティブ対応デバイス 日経テクノロジーオンライン 2014/02/26

熟成するロボットに触覚を与える技術、身近なモノや道具に応用して新しい価値を創出 日経テクノロジーオンライン 2014/02/21

次世代携帯電話に必要な技術「ヘテロ集積化」とは JST サイエンス チャンネル 2014/02/02

ヒト共生ロボットの全身を覆う触覚センサ、セラミック基板使い低価格に 日経テクノロジーオンライン 2013/11/15

MEMSの江刺教授が退職、学外向け最終講義・祝賀会が開催 日経テクノロジーオンライン 2013/03/19

【MEMS 2013続報】ウエハーから任意チップを剥離し別ウエハーへ移植 日経テクノロジーオンライン 2013/02/05

東北大学とIMECが戦略的連携協定 日経テクノロジーオンライン 2012/06/15

ドラえもんの動力源に最適!? “手のひらガスタービン”が描くエネルギーの未来 MONOist 2012/09/27

ヒューマノイド型ロボットにも応用が可能!? ? 大きなパワーを身近に利用できる超小型ガスタービンの開発 JQR 2012/05

IHI、デスクトップサイズのガスタービン発電機パッケージを開発---「世界初」の自律発電に成功 日経テクノロジーオンライン 2012/02/17

【マイクロマシン展】“接合して切断”、LTCCで浜ホトが提案 日経テクノロジーオンライン 2009/08/03

東北大学、片手で持てるサイズのガスタービンエンジンの実証に世界で初めて成功 日経テクノロジーオンライン 2007/08/08

片手で持てるガスタービンエンジン ロボットの電源に ITmedia 2007/08/08