ロボット制御、高度情報通信、健康、安全、省エネルギーなどに貢献するマイクロ・ナノシステムの研究開発

我々のコア・コンピタンスはMEMS技術
田中(秀)研究室は、他大学・海外からの学生さんを歓迎します。
田中(秀)研究室への進学を検討される方へ
小片ウェハでの原理実証から4〜6インチウェハでの試作まで、
MEMSの共同研究開発が可能です。産業界の皆様へ

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東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 ナノシステム講座 スマートシステム集積学分野 田中(秀)研究室
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