弾性波素子技術コンソーシアム 新学校シリーズ

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弾性波素子技術 春の学校

 

主 催 弾性波素子技術コンソーシアム

 

この学校シリーズは、弾性波素子技術第150委員会の主催で主に弾性波素子技術に関わるエンジニア向けに理論と理論の実践を教える1日集中講義としてはじまり、20209月に設立された弾性波素子技術研究コンソーシアムがそれを引き継いでいます。学校シリーズでは、毎回、講義する話題を絞り(概論に終わらず)、基礎から専門的な内容までを含めるようにし、受講者の多くが「やや難しい〜丁度よい」と感じる難度を目指しています。

今回の学校は、垣尾省司教授(山梨大学)、小林牧子教授(熊本大学)、および田中が担当し、それぞれ弾性波デバイスの基礎理論、圧電材料、および製造技術について講義します。垣尾教授には、圧電デバイスの基礎方程式から入り、この分野の古典的基礎理論の代表であるCampbell & Jonesの方法を説明して頂きます。このトピックは2019年の春の学校で取り上げましたが、その後、この分野に入ったエンジニアも多いと思われることから、今回、必修基礎の1つとして再び取り上げます。弾性波素子には圧電材料が必須ですが、そもそも圧電材料とはどういうものなのか勉強する時間を持てずに、日々の業務に追われている若手エンジニアもいるかもしれません。ベテランエンジニアには今更と思われるかもしれませんが、小林教授には圧電材料の基礎を解説して頂きます。

多くのデバイスメーカーでは、設計、材料開発、プロセス開発、テストなどが分業化されていると思いますが、エンジニアとして一段高いレベルを目指すには、自らの担当以外の技術を知ることが必要です。これらの講義を聴講することで、日々の業務をより実りあるものにして頂ければと思います。(世話人:田中秀治=東北大学)

 

日 時 2026424日(金) 10:0017:30

会 場 TeamsまたはZoom

※接続先と参加パスワードは参加登録者にお知らせします。

受講料 コンソーシアム委員           無料

コンソーシアム会員企業に所属する方   無料

学生                  無料

大学・公的機関に所属する学生以外の方  5,000/

その他                 50,000/

内 容

10:0011:00 SAW伝搬解析と高性能な層状基板構造への適用(前半)

講師 垣尾 省司(山梨大学)

圧電基板上のSAWは、弾性波動方程式とラプラス方程式の解として機械的・電気的な境界条件を満足するように伝搬する。その伝搬特性の解析手法として、古くからCampbell & Jonesの方法がよく知られている。本講義では、まず、層状基板構造上を伝搬する各種SAW伝搬モードの位相速度、電気機械結合係数、伝搬減衰、粒子変位分布などを理論的に求める解析方法について詳説する。次に、異種材料接合技術を用いた高性能な層状基板構造(I.H.P.HALPOIなどと呼ばれるSAWデバイス構造)を中心に適用例を解説する。

11:0011:10 休憩

11:1012:10 SAW伝搬解析と高性能な層状基板構造への適用(後半)

講師 垣尾 省司(山梨大学)

12:1013:10 昼休み

13:1014:40 半導体のものづくり

講師 田中 秀治(東北大学)

BAWフィルターとMEMSタイミングデバイスは半導体加工技術を用いて製造される。SAWフィルターと水晶タイミングデバイスにも同様の製造技術が使われる。昨今、半導体産業が注目を集めているが、これはAI半導体の需要が巨大であるだけではなく、ものづくり技術としての裾野の広さ、つまり産業規模の大きさによるところが大きい。本講義では、最新の半導体のものづくり技術を俯瞰し、受講者らに電子デバイスや製造装置のエンジニア、マーケティング職、あるいはストラテジストとしてより高い視座を持ってもらうことを狙っている。

14:4014:50 休憩

14:5016:20 超音波エンジニアのための圧電材料入門

講師 小林 牧子(熊本大学)

本講義では、結晶に中心対称性がないとなぜ圧電性が発現するのかから説明し、6mmといった点群の意味するところを直感的に整理する。次に、ペロブスカイト型を例にAサイト・Bサイト、ドーパント、固溶体などについて説明する。後半では、単結晶、バルクセラミックス、圧電ポリマー、圧電薄膜の代表的作製法などについて俯瞰的解説を行う。

16:2016:30 休憩

16:3017:30 フォローアップセッション

司会 田中 秀治(東北大学)

申込法

2026417日(金)までに、弾性波素子技術研究コンソーシアムの委員がいる企業や研究室からは、委員が受講者を取りまとめてお申込み下さい。それ以外の企業や研究室からは、代表者が参加者を取りまとめてお申込み下さい。事務局が混乱しますので、参加者各位からのお申込みや問合せはお控え下さい。お申込みにあたっては、参加者の氏名、所属、および電子メールアドレスをExcelファイル(任意形式)にまとめて、以下の問合先にお送り下さい。オンライン開催では、講師にはどのような方が受講されているのかわかりませんので、頂いた情報をもとに受講者名簿を作成して講師に配布します。氏名と所属に加えて任意で業務内容と経験年数を記入頂けますと、質疑の際の助けになるかもしれません。

受講料は指定口座にお振込み頂きますが、詳細は事務局から申込者にご連絡します。また、講義資料は電子ファイルで配布します。申込締切後に本ページに講義資料へのリンクを用意しますので、そこからダウンロードして下さい。電子ファイルを開くためのパスワードは、各参加登録者に電子メールでお知らせします。

問合先

東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 田中()研究室

相原 友子(弾性波素子技術コンソーシアム事務局)

Tel: 022-795-6934

E-mail: aihara@tohoku.ac.jp

 

田中(秀)研究室ウェブサイト