弾性波素子技術コンソーシアム 新学校シリーズ
弾性波素子技術 春の学校
主 催 弾性波素子技術コンソーシアム
この学校シリーズは、弾性波素子技術第150委員会の主催で主に弾性波素子技術に関わるエンジニア向けに理論と理論の実践を教える1日集中講義としてはじまり、2020年9月に設立された弾性波素子技術研究コンソーシアムがそれを引き継いでいます。
学校シリーズでは、毎回、講義する話題を絞り（概論に終わらず）、基礎から専門的な内容までを含めるようにし、受講者の多くが「やや難しい〜丁度よい」と感じる難度を目指しています。一方、初学者向けには導入セッションを設け、主に基本概念や学習ポイントを整理し、一部、復習も行います。さらに、講義終了後のフォローアップセッションでは、講師陣ができるだけやさしく質問に答えます。
今回の講師は、後藤令博士（スカイワークスフィルターソリューションズジャパン）と柳谷隆彦教授（早稲田大学）です。今回の学校は設計と材料の二本立てで講義をお届けしますが、後藤さんからはSAWフィルタの設計法、柳谷先生からは前回の講義の続きとなる圧電薄膜の成長技術と評価法について講義してもらいます。多くのデバイスメーカーでは、設計、材料開発、プロセス開発、テストなどが分業化されていると思いますが、エンジニアとして一段高いレベルを目指すには、自らの担当以外の技術を知ることが必要です。これらの講義を聴講することで、日々の業務をより実りあるものにして頂ければと思います。（世話人：田中秀治＝東北大学）
日 時 2023年4月28日（金） 10:00〜17:30
会 場 ZoomまたはTeams
※接続先と参加パスワードは参加登録者にお知らせします。
受講料 コンソーシアム委員 無料
コンソーシアム会員企業に所属する方 無料
学生 無料
大学・公的機関に所属する学生以外の方 5,000円/人
その他 50,000円/人
内 容
10:00〜10:50 導入セッション
講師 田中 秀治（東北大学）
講義に先立ち、講義の全体像を概観して学習のポイントを整理するとともに、初学者や初級者にとってわかりにくい概念などの導入や復習を行う。
10:50〜11:00 休憩
11:00〜12:00 COM（Coupling of Modes）モデルを用いたSAWフィルタの設計（前半）
講師 後藤 令（スカイワークスフィルターソリューションズジャパン）
複雑な構造を持つSAWフィルタの設計には、高精度の弾性波シミュレーション技術が不可欠である。本講義では、SAWフィルタの設計に広く用いられるCOMモデルの概要、有限要素法を用いたモデルパラメータの抽出法、および抽出したパラメータを用いたデバイス設計法について実例を示しながら説明する。
12:00〜13:00 昼休み
13:00〜14:00 COM（Coupling of Modes）モデルを用いたSAWフィルタの設計（後半）
講師 後藤 令（スカイワークスフィルターソリューションズジャパン）
14:00〜14:10 休憩
14:10〜15:10 圧電薄膜のエピタキシャル成長および基板付き圧電薄膜の評価法（前半）
講師 柳谷 隆彦（早稲田大学）
イオンスライシングのような単結晶の接合・薄片化技術が進んできているが、依然、BAWフィルタには大面積化に有利なスパッタ成膜が使われている。本講義では、圧電薄膜のスパッタエピタキシャル成長を紹介するとともに、基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数や音速の評価法についても説明する。また、ScAlNなどのウルツ鉱圧電薄膜の強誘電性についても解説する。
15:10〜15:20 休憩
15:20〜16:20 圧電薄膜のエピタキシャル成長および基板付き圧電薄膜の評価法（後半）
講師 柳谷 隆彦（早稲田大学）
16:20〜16:30 休憩
16:30〜17:30 フォローアップセッション
司会 田中 秀治（東北大学）
申込法
2023年4月21日（金）までに、弾性波素子技術研究コンソーシアムの会員がいる企業や研究室からは、委員が受講者を取りまとめてお申込み下さい。それ以外の企業や研究室からは、代表者が参加者を取りまとめてお申込み下さい。事務局が混乱しますので、参加者各位からのお申込みや問合せはお控え下さい。お申込みにあたっては、参加者の氏名、所属、および電子メールアドレスをExcelファイル（任意形式）にまとめて、以下の問合先にお送り下さい。オンライン開催では、講師にはどのような方が受講されているのかわかりませんので、頂いた情報をもとに受講者名簿を作成して講師に配布します。氏名と所属に加えて任意で業務内容と経験年数を記入頂けますと、質疑の際の助けになるかもしれません。
受講料は指定口座にお振込み頂きますが、詳細は事務局から申込者にご連絡します。また、講義資料は電子ファイルで配布します。申込締切後に本ページに講義資料へのリンクを用意しますので、そこからダウンロードして下さい。電子ファイルを開くためのパスワードは、各参加登録者に電子メールでお知らせします。
問合先
東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 田中(秀)研究室
相原 友子（弾性波素子技術コンソーシアム事務局）
Tel: 022-795-6934
E-mail: aihara@tohoku.ac.jp