弾性波素子技術コンソーシアム 新学校シリーズ
弾性波素子技術 春の学校
主 催 弾性波素子技術コンソーシアム
この学校シリーズは、弾性波素子技術第150委員会の主催で主に弾性波素子技術に関わるエンジニア向けに理論と理論の実践を教える1日集中講義としてはじまり、2020年9月に設立された弾性波素子技術研究コンソーシアムがそれを引き継いでいます。最近は、毎回、200名近くの受講者が参加します。
学校シリーズでは、毎回、講義する話題を絞り（概論に終わらず）、基礎から専門的な内容までを含めるようにし、受講者の多くが「やや難しい〜丁度よい」と感じる難度を目指しています。今回の講師は中川原修博士（I-PEX Piezo Solutions）、橋本研也教授（電子科技大学）、および田中です。中川原さんの講義はSAWフィルターの耐電力性に関するものです。この学校シリーズで耐電力性を取り上げるのは、これが初めてです。中川原さんには博士論文の内容であるエピタキシャルAl薄膜による耐電力性の向上について解説して頂きます。橋本先生の講義は多くの人にとって身近なmBVDモデルを取り上げます。「mBVDモデルを利用してここまで考察できるのか」と目から鱗が落ちるような講義になると思います。田中は弾性波フィルター等のパッケージングについて解説します。
多くのデバイスメーカーでは、設計、材料開発、プロセス開発、テストなどが分業化されていると思いますが、エンジニアとして一段高いレベルを目指すには、自らの担当以外の技術を知ることが必要です。これらの講義を聴講することで、日々の業務をより実りあるものにして頂ければと思います。（世話人：田中秀治＝東北大学）
受講者アンケート（回答締切 2025年4月30日）
日 時 2025年4月24日（木） 10:00〜17:30
会 場 ZoomまたはTeams
※接続先と参加パスワードは参加登録者にお知らせします。
受講料 コンソーシアム委員 無料
コンソーシアム会員企業に所属する方 無料
学生 無料
大学・公的機関に所属する学生以外の方 5,000円/人
その他 50,000円/人
内 容
10:00〜10:10 開会挨拶、受講にあたってのお願い
10:10〜11:10 エピタキシャル電極を用いたSAWデバイスの高耐電力化（前半） 講義資料
講師 中川原 修（I-PEX Piezo Solutions）
SAWデバイスにとって耐電力性の確保は実用化に不可欠ですが、高周波化が進むにつれてIDT線幅は細くなり、電力印加に対する信頼性確保は難しくなります。耐電力性改善には設計・材料面など様々なアプローチが考えられる中、本講義では電極材料の構造制御の効果について述べます。SAW電極材として用いられるAlはLNやLT単結晶基板上では通常の手法では多結晶となり、粒界を通した原子マイグレーションがヒロックを発生させ、デバイス破壊をもたらします。一方、Tiを格子不整の緩衝層としてAl電極をエピタキシャル成長させたSAWデバイスは非常に優れた耐電力性を示します。この講義ではその特異な結晶成長と高耐電力化のメカニズムについて解説します。
11:10〜11:20 休憩
11:20〜12:20 エピタキシャル電極を用いたSAWデバイスの高耐電力化（後半）
講師 中川原 修（I-PEX Piezo Solutions）
12:20〜13:20 昼休み
13:20〜14:20 弾性波フィルター等のパッケージング 講義資料
講師 田中 秀治（東北大学）
パッケージングは誰かが後でやってくれるんでしょ、海外の事業所でやっているから、OSATに外注しているし...そのように設計や開発の担当者は思うかもしれません。しかし、ちょっと待って！パッケージングにも興味を持ってみませんか？この講義では弾性波フィルターを含む電子部品や半導体のパッケージングついて概説します。
14:20〜14:30 休憩
14:30〜15:30 mBVDモデルを使いこなす（前半） 講義資料
講師 橋本 研也（電子科技大学）
mBVDモデルはSAW/BAW共振子の実験的評価やフィルター設計用セルとして広範に利用されています。寄生要素を含む全てのパラメーターを適切に設定すれば、驚くほど高精度に素子特性を表現できますが、学会発表等でmBVDモデルを活用できていない例も散見されるのが実情です。この講義ではmBVDモデルの基礎から始め、寄生要素を含む全てのパラメーターが特性にどの様に影響するかを説明するとともに、それらの決定法、さらにはそれらの物理的要因についても解説します。また、mBVDモデルでは表現できない要因にも触れます。
15:30〜15:40 休憩
15:40〜16:40 mBVDモデルを使いこなす（後半）
講師 橋本 研也（電子科技大学）
16:40〜16:50 休憩
16:50〜17:30 フォローアップセッション
司会 田中 秀治（東北大学）
申込法
2025年4月14日（月）までに、弾性波素子技術研究コンソーシアムの委員がいる企業や研究室からは、委員が受講者を取りまとめてお申込み下さい。それ以外の企業や研究室からは、代表者が参加者を取りまとめてお申込み下さい。事務局が混乱しますので、参加者各位からのお申込みや問合せはお控え下さい。お申込みにあたっては、参加者の氏名、所属、および電子メールアドレスをExcelファイル（任意形式）にまとめて、以下の問合先にお送り下さい。オンライン開催では、講師にはどのような方が受講されているのかわかりませんので、頂いた情報をもとに受講者名簿を作成して講師に配布します。氏名と所属に加えて任意で業務内容と経験年数を記入頂けますと、質疑の際の助けになるかもしれません。
受講料は指定口座にお振込み頂きますが、詳細は事務局から申込者にご連絡します。また、講義資料は電子ファイルで配布します。申込締切後に本ページに講義資料へのリンクを用意しますので、そこからダウンロードして下さい。電子ファイルを開くためのパスワードは、各参加登録者に電子メールでお知らせします。
問合先
東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 田中(秀)研究室
相原 友子（弾性波素子技術コンソーシアム事務局）
Tel: 022-795-6934
E-mail: aihara@tohoku.ac.jp