弾性波素子技術コンソーシアム 新学校シリーズ

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弾性波素子技術 夏の学校

 

主 催 弾性波素子技術コンソーシアム

 

この学校シリーズは、弾性波素子技術第150委員会の主催で主に弾性波素子技術に関わるエンジニア向けに理論と理論の実践を教える1日集中講義としてはじまり、20209月に設立された弾性波素子技術研究コンソーシアムがそれを引き継いでいます。

学校シリーズでは、毎回、講義する話題を絞り(概論に終わらず)、基礎から専門的な内容までを含めるようにし、受講者の多くが「やや難しい〜丁度よい」と感じる難度を目指しています。一方、初学者向けには導入セッションを設け、主に基本概念や学習ポイントを整理します。さらに、講義終了後のフォローアップセッションでは、講師陣ができるだけやさしく質問に答えます。今回は導入セッションがありませんが、第1講に圧電現象の基礎が含まれています。

今回の講師は、森田剛教授(東京大学)、柳谷隆彦教授(早稲田大学)、および田中秀治教授(東北大学)です。これまでSAW/BAWデバイスの設計寄りの講義を提供してきましたが、今回は材料・プロセス寄りの講義をお届けします。森田先生からは圧電現象の理論、柳谷先生からは圧電薄膜、田中からはデバイス製造プロセスについてお話しします。多くのデバイスメーカーでは、設計、材料開発、プロセス開発、テストなどが分業化されていると思いますが、エンジニアとして一段高いレベルを目指すには、自らの担当以外の技術を知ることが必要です。これらの講義を聴講することで、日々の業務をより実りあるものにして頂ければと思います。前回のアンケートで多くの要望があった復習シリーズは、次回以降に検討します。(世話人:田中秀治=東北大学)

 

アンケート 2022926日までにご回答ください。

 

日 時 2022920日(火) 10:3017:30

会 場 ZoomまたはTeams

※接続先と参加パスワードは参加登録者にお知らせします。

受講料 コンソーシアム委員           無料

コンソーシアム会員企業に所属する方   無料

学生                  無料

大学・公的機関に所属する学生以外の方  5,000/

その他                 50,000/

内 容

10:3012:00 等価回路から理解する圧電現象

講師 森田 剛(東京大学)

電気エネルギーと機械エネルギーを相互変換する圧電現象は大変複雑だが、等価回路を導入することによって見通しが良くなる。この講義では、一次元の圧電現象に的を絞って考察することで、分布定数系、集中定数系、LCR等価回路、およびMasonの等価回路の関係を明らかにする。この基本的な考え方から、有限要素法解析などで得られる複雑な振動現象と電気特性とを結びつけながら理解できるようになると期待できる。参考書として、本講師の著書「圧電現象」(森北出版)を推薦する。

12:0013:00 昼休み

13:0014:30 圧電薄膜の成長法および評価法 講義資料

講師 柳谷 隆彦(早稲田大学)

Smartcut技術のような単結晶の接合・薄片化技術が進んできているが、依然、BAWフィルタには大面積化に有利なスパッタ成膜が使われている。ここでは重要性が増しているScAlN薄膜のスパッタ成長に注目して、AlN薄膜とは異なる点について解説する。また、今後のBAWフィルタの高周波化・大電力化を考えると、エピタキシャル成長による単結晶化が有利になると予想されるが、その技術も紹介する。

14:3014:45 休憩

14:4516:15 MEMSプロセス技術 −BAWデバイスを例にして− 講義資料

講師 田中 秀治(東北大学)

成膜、パターニング、エッチング、振動部のリリース、パッケージングなどから成るBAWデバイスの製造プロセスの全体、およびそれを構成する各加工法の原理やキーポイントを解説する。ここで取り上げるプロセス技術は、BAWデバイスだけではなく、様々なMEMSの製造にも使われるが、まず、BAWデバイスがどのように作られるのかを把握することを目指す。また、途中でBAW共振子の物理と構造の解説を挟み、BAWデバイスの全体像が掴めるようにする。

16:1516:30 休憩

16:3017:30 フォローアップセッション

司会 田中 秀治(東北大学)

申込法

2022913日(火)までに、弾性波素子技術研究コンソーシアムの会員がいる企業や研究室からは、委員が受講者を取りまとめてお申込み下さい。それ以外の企業や研究室からは、代表者が参加者を取りまとめてお申込み下さい。事務局が混乱しますので、参加者各位からのお申込みや問合せはお控え下さい。お申込みにあたっては、参加者の氏名、所属、および電子メールアドレスをExcelファイル(任意形式)にまとめて、以下の問合先にお送り下さい。オンライン開催では、講師にはどのような方が受講されているのかわかりませんので、頂いた情報をもとに受講者名簿を作成して講師に配布します。氏名と所属に加えて任意で業務内容と経験年数を記入頂けますと、質疑の際の助けになるかもしれません。

受講料は指定口座にお振込み頂きますが、詳細は事務局から申込者にご連絡します。また、第2講と第3講の講義資料は電子ファイルで配布します。講義の約1週間前に本ページにリンクを用意しますので、そこからダウンロードして下さい。電子ファイルを開くためのパスワードは、各参加登録者に電子メールでお知らせします。なお、第1講の講義資料としては、必要に応じて前掲の参考書をご準備下さい。

問合先

東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 田中()研究室

相原 友子(弾性波素子技術コンソーシアム事務局)

Tel: 022-795-6934

E-mail: aihara@tohoku.ac.jp

 

田中(秀)研究室ウェブサイト