健康、安全、省エネルギー、高度情報通信、ロボット制御
などに貢献するマイクロ・ナノデバイスの研究開発


我々のコア・コンピタンスはMEMS技術
田中(秀)研究室は、他大学・海外からの学生さんを歓迎します。
田中(秀)研究室への進学を検討される方へ
小片ウェハでの原理実証から4〜6インチウェハでの試作まで、
MEMSの共同研究開発が可能です。産業界の皆様へ

お知らせ

産業界からの技術相談を電子メールでも受け付けています。
MNCセミナー「近代技術史学」を2015年7月22〜24日に開催します。詳細 自動車エンジンの技術史資料
今年の夏も「MEMS集中講義」を開催します(2015年8月5〜7日、豊橋技術科学大学)。 詳細
左側バナーの"Internet Archives"に田中秀治教授によるMEMS解説記事がまとめられています。
最新記事1「MEMSセンサー、集積化手法に新潮流」(人気記事:月間アクセスランキング6位)
最新記事2「自動運転、IoT、人工知能、いずれにも必須のMEMS技術」
最新記事3「チップ上にフーコー振子 ― 高性能MEMSジャイロ 自動運転などに向けて開発が進む」
田中(秀)研究室のイベントや学生の学会参加の様子は左側バナーの"Blog Student Page"で見られます。

最新情報
東北大学 大学院工学研究科 バイオロボティクス専攻 バイオデバイス工学講座 田中(秀)研究室
〒980-8579 宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01 機械・知能系共同棟113号室
TEL: 022-795-6937 FAX: 022-795-6935