高度情報通信、ロボット制御、健康、安全、省エネルギー
などに貢献するマイクロ・ナノシステムの研究開発


我々のコア・コンピタンスはMEMS技術
田中(秀)研究室は、他大学・海外からの学生さんを歓迎します。
田中(秀)研究室への進学を検討される方へ
小片ウェハでの原理実証から4〜6インチウェハでの試作まで、
MEMSの共同研究開発が可能です。産業界の皆様へ

お知らせ

東日本大震災から5年を迎え、「震災から学ぶ」を再掲載します。
Andrei M. Shkel教授によるMEMSジャイロ特別セミナーを2016年5月13日に開催しました。詳細   講演資料
今年の夏も「MEMS集中講義」を開催します(2016年8月3〜5日、東北大学)。詳細
MNCセミナー「近代技術史学」を2016年7月20〜22日に開催します。詳細 自動車エンジンの技術史資料
左側バナーの"Internet Archives"に田中秀治教授によるMEMS解説記事がまとめられています。
  最新記事1「MEMSはもうかる 『IEEE MEMS 2016』学会報告(人気記事)
  最新記事2「MEMSセンサー、集積化手法に新潮流 『Transducers 2015』速報(人気記事)
田中(秀)研究室のイベントや学生の学会参加の様子は左側バナーの"Blog Student Page"で見られます。
産業界からの技術相談を電子メールでも受け付けています。

最新情報
東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 ナノシステム講座 スマートシステム集積学分野 田中(秀)研究室
〒980-8579 宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01 機械・知能系共同棟113号室
TEL: 022-795-6937 FAX: 022-795-6935