高度情報通信、ロボット制御、健康、安全、省エネルギー
などに貢献するマイクロ・ナノシステムの研究開発


我々のコア・コンピタンスはMEMS技術
田中(秀)研究室は、他大学・海外からの学生さんを歓迎します。
田中(秀)研究室への進学を検討される方へ
小片ウェハでの原理実証から4〜6インチウェハでの試作まで、
MEMSの共同研究開発が可能です。産業界の皆様へ

お知らせ

[学術研究員公募] 弾性波デバイスまたはMEMSの試作と評価に経験を持ち、学術領域の研究と産学連携による研究開発に意欲をもって取り組んで頂ける方を募集します。募集を締め切りました。詳細
KTH Royal Institute of TechnologyのFrank Niklaus教授によるヘテロ集積化・パッケージング技術特別セミナーを2018年4月27日に開催しました。詳細 講演資料
2018年の「MEMS集中講義」は8月2〜4日に豊田工業大学で開催します。詳細
田中秀治教授が2017年8月25日18:00からのサイエンスカフェに登場しました。テーマは「スマホのシェイクを感じる小さなセンサ、次は社会を大きく変える 〜MEMSとIoTのお話し〜」です。報告・講演スライド
MNCセミナー・リカレント教育講座「近代技術史学」を2017年9月20〜22日に開催しました。詳細 自動車エンジンの技術史資料
UC DavisのDavid A. Horsley教授による圧電超音波MEMS特別セミナーを2017年4月28日に開催しました。詳細 講演資料
左側バナーの"Internet Archives"に田中秀治教授によるMEMS解説記事がまとめられています。
  最新記事1「「コンボセンサー」集積化、ぐっと前進 「IEEE MEMS 2018」報告(1)
  最新記事2「相次ぐ「モード局在化」センサー、安定性が抜群に 「IEEE MEMS 2018」報告(2)
田中(秀)研究室のイベントや学生の学会等参加の様子は左側バナーの"Blog Student Page"で見られます。
産業界からの技術相談を電子メールでも受け付けています。

最新情報
東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 ナノシステム講座 スマートシステム集積学分野 田中(秀)研究室
〒980-8579 宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01 機械・知能系共同棟113号室
TEL: 022-795-6937 FAX: 022-795-6935